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  2. 光纖光譜儀,等離子體監(jiān)控系統(tǒng)

    光纖光譜儀,積分球,均勻光源,太赫茲系統(tǒng)應用專家
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    PlasCalc系列等離子體監(jiān)控系統(tǒng)

    可在僅3ms內(nèi)測量200~1100nm波長范圍內(nèi)的等離子體的發(fā)射。PlasCals測量系統(tǒng)為數(shù)據(jù)的獲取提供過程控制和精密的數(shù)據(jù)運算。

    • 1.0nm(FWHM)光學解析度
    • 200~1100nm波長范圍
    • 快速建立和保存實驗方法

    查看通用的等離子體測量系統(tǒng)USB4000光譜儀

    編輯工具

    編輯工具可以使用戶簡單、快速地設置、建立和保存實驗方法。利用該工具可以對多數(shù)復雜的等離子體過程建立簡便而有效的步驟設置:例如測量薄膜沉積情況、監(jiān)測等離子蝕刻、檢查表面清潔處理、分析等離子室健康控制情況、監(jiān)測反常的污染和排放現(xiàn)象等。

    用于簡單的等離子體診斷的多重工具

    PlasCalc等離子體監(jiān)控系統(tǒng)配有操作軟件,所提供的完整的公式編輯器可以進行所有需要的數(shù)學和算法功能。我們同時提供一個可選配的放射波長數(shù)據(jù)庫,可以另外單獨購買,它能夠提供種類的鑒定;而波長編輯器則使用戶完成信噪比的優(yōu)化。操作界面包含兩個窗口,可以同時顯示真實的光譜和所有控制過程信息。

    SPECIFICATIONS

    Spectral range:

    200-1100 nm

    Optical resolution:

    1.0 nm (FWHM)

    D/A converter:

    14 bit

    Digital Input/Output:

    8 x TTL

    Analog Output:

    4 x [0-10V]

    Interface:

    USB 1.1

    Power consumption:

    12 VDC @ 1.25 A

    Power requirements:

    90-240 VAC 50/60 Hz

    Dimensions:

    257 mm x 152 mm x 263 mm

    Weight:

    5 kg

     


    玻色智能科技有限公司光譜儀專家
    上海玻色智能科技有限公司
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